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高能所采购德国JS公司溅射电源

2023年1月:

近期,中科院高能所购买德国JS公司PLASMA系列溅射电源,用于镀膜相关科学研究。

PLASMA系列溅射电源特点:适用于DC、DCP、BIAS等溅射镀膜应用,也适用于等离子体应用,货期较短,高性价比,简单易用,持久耐用;