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德国生产,高性价比,大功率高压电容充电电源
德国生产,高性价比,最大200KW;直流、脉冲、正负脉冲、偏置+脉冲等输出模式可选;适用于:镀膜(溅射、沉积、PECVD、等离子处理、多弧离子镀。。。)等工艺;
多种现场总线接口可选;多种输出机型可选(高压DC,或高压脉冲,或高压交流,或高压脉冲+高压交流);适用于:预清洗,辉光放电,线性离子源,微波工艺,高压等离子体(PECVD等),离子束溅射,DBD介质阻挡。。。
德国生产,高性价比,提供阴极加热变压器、XY扫描放大器、打火ARC管理、打火电流限制等功能;适用于:电子束蒸发处理(加工)等;