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德国生产，高性价比，最大200KW；直流、脉冲、正负脉冲、偏置+脉冲等输出模式可选；适用于：镀膜（溅射、沉积、PECVD、等离子处理、多弧离子镀。。。）等工艺；
HiPIMS（ 高功率脉冲磁控溅射）电源
