离子辐照注入设备
北京瑞启沃达科技有限公司提供德国进口的离子辐照/注入设备（系统）：
离子种类：氢离子(H+)，惰性气体离子(氦He+, 氖Ne+, 氩Ar+, 氙Xe+ 等等)，金属离子，或用户指定；
离子能量：1KeV 到 50KeV；
束流强度：中强（1-100uA），高强（1-1000uA）；
束流稳定性：<±1%；
束流纯度：<0.1%；
腔体真空度：10-6mbar，或更优；
靶材尺寸（beam scan）：中强（25mm*25mm），高强（最大至直径200mm）；
设备尺寸：中强（超紧凑，长度<2米）；
适用于：科研，研发，小批量生产；
我们提供整套系统，也可以提供系统所需零部件，特殊技术要求可定制；
部件如：
4-JAW Slit System
Aperture System
Einzel_lens
Electrostatic Deflector
Faraday Cup
Wien filter
ECRIS 电子回旋共振离子源
EBIS 电子束离子源
详情欢迎联系我公司沟通，010-84249358，info@richwater.cn, QQ925110974，微信Richwater2019。
